书名：基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究

作者：王璐◎著

ISBN：978-7-81129-500-9

定价：23.00元

内容简介
　　本书研制了纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统，阐述了采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。 在理论分析的基础上，设计了纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的力敏结构，确定了衬底材料、硅膜厚度、MOSFET沟道电阻在硅膜和悬臂梁上的位置。